傳感器靈敏度主要取決于傳感器配置的幾何參數(shù)。這包括膜的直徑和厚度以及腔體的高度。在加壓情況下，可移動(dòng)膜將發(fā)生偏移，這會(huì)導(dǎo)致電容發(fā)生變化。為了加強(qiáng)信號(hào)，可利用多膜并聯(lián)。在此，有兩個(gè)區(qū)域?qū)毫γ舾�，有兩個(gè)區(qū)域可作為參考之用。傳感器信號(hào)的形成就來(lái)源于壓力敏感區(qū)域和參考區(qū)域之間的差異。信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換發(fā)生在信號(hào)處理過(guò)程中(集成在芯片里)。這可確保非常好的信噪比以及高精確度。為了確保傳感器能大量應(yīng)用于汽車領(lǐng)域，壓力傳感器采用了一種特殊的SMD封裝。塑料外殼有8個(gè)連接針。在傳感器芯片結(jié)合并利用金線連接之后，芯片利用硅膠進(jìn)行覆蓋。待測(cè)量的環(huán)境氣體壓力通過(guò)硅膠傳送到傳感器表面。此外，它可保護(hù)芯片免受環(huán)境影響。這種封裝用于自動(dòng)PCB裝置，比傳統(tǒng)封裝更具成本優(yōu)勢(shì)。
汽車市場(chǎng)的傳感器正在迅猛發(fā)展，從2004年到2009年，全球車用傳感器將呈現(xiàn)9%左右的成長(zhǎng)率，2008年市場(chǎng)需求量估計(jì)可達(dá)14.87億個(gè)。中國(guó)市場(chǎng)更是車用傳感器發(fā)展的溫床，計(jì)世資訊(CCWResearch)最新調(diào)查數(shù)據(jù)顯示，2006年，中國(guó)汽車傳感器的市場(chǎng)銷售額為3.9億美元，同比增長(zhǎng)率為42.8%，2007~2010年中國(guó)汽車傳感器市場(chǎng)銷售額的年度復(fù)合增長(zhǎng)率將超過(guò)35%。其中，2007年市場(chǎng)銷售額將達(dá)到5.4億美元，同比增長(zhǎng)率為36.3%;2009年其市場(chǎng)銷售額將接近10.5億美元，同比增長(zhǎng)40.5%;2010年市場(chǎng)銷售額將超過(guò)13.2億美元，同比增長(zhǎng)35.2%。
汽車壓力傳感器主要用于檢測(cè)氣缸負(fù)壓、大氣壓、渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的升壓比、氣缸內(nèi)壓、油壓等。吸氣負(fù)壓式傳感器主要用于吸氣壓、負(fù)壓、油壓檢測(cè)。汽車用壓力傳感器應(yīng)用較多的有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式（LVDT）、表面彈性波式（SAW）。從安裝技術(shù)來(lái)說(shuō)，當(dāng)前的技術(shù)和車用壓力傳感器的使用直接相關(guān)。傳感器的安裝位置(包括其溫度、壓力和環(huán)境介質(zhì))決定了使用哪種傳感元件和封裝技術(shù)。比如說(shuō)用于引擎管理的傳感器。
對(duì)于壓力傳感器應(yīng)用而言，我們可以假定在壓力大于10帕?xí)r，傳感器工作在液體中或通過(guò)液體傳輸壓力信號(hào)。在這種情況下，器件封裝必須滿足工作環(huán)境的嚴(yán)格要求。對(duì)于壓力小于10帕的應(yīng)用(比如測(cè)量進(jìn)氣管氣壓(MAP)或大氣絕對(duì)壓力(BAP))而言，采用凝膠涂層封裝就可以。針對(duì)這種應(yīng)用所采用的工藝是以適用于汽車應(yīng)用的0.5mm BiCMOS技術(shù)。壓力傳感器以電容性測(cè)量原理為基礎(chǔ)(表面微機(jī)械加工)，這意味著環(huán)境介質(zhì)的壓力變化會(huì)導(dǎo)致電容發(fā)生變化，進(jìn)而導(dǎo)致壓力輸出信號(hào)發(fā)生變化。為了能夠轉(zhuǎn)換物理壓力變量，在密封腔上覆蓋了一層壓力敏感膜。為此，場(chǎng)氧化層就會(huì)在襯底的電容器下電極上產(chǎn)生。隨后，這種氧化層將被多晶硅摻雜層覆蓋。多晶硅構(gòu)成了電容器的對(duì)電極。該層采用這種結(jié)構(gòu)，為了可以在下一步通過(guò)使用氫氟酸進(jìn)行濕化學(xué)蝕刻去除下面的場(chǎng)氧化層(犧牲層)。最后，對(duì)獨(dú)立的多晶硅層進(jìn)行密封。通過(guò)這種方式，成形的腔體可在一定壓力下實(shí)現(xiàn)密封。
可以未來(lái)汽車壓力傳感器的前景廣闊，不僅在于它本身的需求，同時(shí)得益于車市的快速發(fā)展。目前，一輛普通家用轎車上大約安裝幾十到近百個(gè)傳感器，而豪華轎車上的傳感器數(shù)量可多達(dá)200個(gè)。2006年，中國(guó)汽車市場(chǎng)規(guī)模突破720萬(wàn)輛，其中乘用車突破500萬(wàn)輛。2007年國(guó)內(nèi)汽車銷量將超過(guò)800萬(wàn)輛，車用傳感器的銷量也會(huì)水漲船高。更多的壓力傳感器最新科技知識(shí)盡在匯集全球傳感器的現(xiàn)代豪方傳感器之家！
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